پوشش پیشرفته و اتصال سیستم برای کاربردهای Ulsi در سال 1997 Advanced Metallization and Interconnect Systems for Ulsi Applications in 1997
- نوع فایل : کتاب
- زبان : انگلیسی
- نویسنده : R. Cheung ,J. Klein ,K. Tsubouchi ,M. Murakami ,N. Kobayashi
- ناشر : Materials Research Society
- چاپ و سال / کشور: 1999
- شابک / ISBN : 1558994122, 9781558994126